| Ders Adı | Kodu | Yerel Kredi | AKTS | Ders (saat/hafta) | Uygulama (saat/hafta) | Laboratuar (saat/hafta) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Yarıiletken Teknolojisi | EHM6107 | 3 | 7.5 | 3 | 0 | 0 |
| Önkoşullar | Yok |
|---|
| Yarıyıl | Bahar |
|---|
| Dersin Dili | Türkçe |
|---|---|
| Dersin Seviyesi | Yüksek Lisans |
| Dersin Türü | Seçmeli @ Elektr.&Hab. Müh. ABD Elektronik Yüksek Lisans Programı Seçmeli @ Elektr.&Hab. Müh. ABD Elektronik Doktora Programı |
| Ders Kategorisi | |
| Dersin Veriliş Şekli |
| Dersi Sunan Akademik Birim | Elektronik & Haberleşme Mühendisliği Bölümü |
|---|---|
| Dersin Koordinatörü | |
| Dersi Veren(ler) | Herman Sedef |
| Asistan(lar)ı |
| Dersin Amacı | Dersin amacı yarıiletken teknolojisindeki temel süreçleri öğretmektir. |
|---|---|
| Dersin İçeriği | Yarı iletkenlerin sınıflandırılması / Element ve bileşik yarı iletkenlerin kristal yapıları / Miller indisleri / Si ve GaAs kristallerinin üretimi, kristallerin arındırılması ve monokristal üretimi / Silisyum ve GaAs kristallerinde sıvı ve gaz fazdan epitaksiyal büyütme; difüzyon, iyon ekme, oksidasyon süreçleri / Bipolar ve Mos teknolojisinde temel süreçler; |
| Ders Kitabı / Malzemesi / Önerilen Kaynaklar |
|
| Opsiyonel Program Bileşenleri | Yok |
Ders Öğrenim Çıktıları
- Öğrencilerin yarıiletken devre elemanlarının üretimi konusunda bilgilendirilmesi
- Öğrenciler CMOS ve bipolar temelli modern devre teknolojisinin öğreneceklerdir.
- Öğrencilerin yarıiletken devre elemanlarının kullanım alanları konusunda bilgilendirilmesi
- Öğrencilerin mikro ve nano sistem teknolojileri ile ilgili gelişmiş bilgiye sahip olmalarını sağlamak
- Öğrencilerin micro/nano fabrikasyon konusunda bilgi sahibi olmalarını sağlamak
Haftalık Konular ve İlgili Ön Hazırlık Çalışmaları
| Hafta | Konular | Ön Hazırlık |
|---|---|---|
| 1 | Yarı iletkenlerin sınıflandırılması | Ders Kitabı |
| 2 | Element ve bileşik yarı iletkenlerin kristal yapıları, miller indisleri | Ders Kitabı |
| 3 | Si ve GaAs kristallerinin üretimi, kristallerin arındırılması ve monokristal üretimi | Ders Kitabı |
| 4 | Silisyum ve GaAs kristallerinde sıvı ve gaz fazdan epitaksiyal büyütme | Ders Kitabı |
| 5 | difüzyon | Ders Kitabı |
| 6 | iyon ekme | Ders Kitabı |
| 7 | oksidasyon süreçleri | Ders Kitabı |
| 8 | Ara sınav | |
| 9 | Litografi | Ders Kitabı |
| 10 | Bipolar ve Mos teknolojisinde temel süreçler | Ders Kitabı |
| 11 | Polisilisyum tabakalar ve uygulama alanları | Ders Kitabı |
| 12 | Silisyumnitrit tabakaları ve uygulama alanları | Ders Kitabı |
| 13 | Silisit tabakaların oluşturulması ve uygulama alanları | Ders Kitabı |
| 14 | Metalizasyon | Ders Kitabı |
| 15 | Devre elemanı üretim teknikleri için örnek süreçler | Ders Kitabı |
| 16 | Final Sınavı |
Değerlendirme Sistemi
| Etkinlikler | Sayı | Katkı Payı |
|---|---|---|
| Devam/Katılım | ||
| Laboratuar | ||
| Uygulama | ||
| Arazi Çalışması | ||
| Derse Özgü Staj | ||
| Küçük Sınavlar/Stüdyo Kritiği | ||
| Ödev | 1 | 30 |
| Sunum/Jüri | ||
| Projeler | ||
| Seminer/Workshop | ||
| Ara Sınavlar | 1 | 30 |
| Final | 1 | 40 |
| Dönem İçi Çalışmaların Başarı Notuna Katkısı | ||
| Final Sınavının Başarı Notuna Katkısı | ||
| TOPLAM | 100 | |
AKTS İşyükü Tablosu
| Etkinlikler | Sayı | Süresi (Saat) | Toplam İşyükü |
|---|---|---|---|
| Ders Saati | 15 | 3 | |
| Laboratuar | |||
| Uygulama | |||
| Arazi Çalışması | |||
| Sınıf Dışı Ders Çalışması | 14 | 5 | |
| Derse Özgü Staj | |||
| Ödev | 1 | 30 | |
| Küçük Sınavlar/Stüdyo Kritiği | |||
| Projeler | |||
| Sunum / Seminer | 14 | 5 | |
| Ara Sınavlar (Sınav Süresi + Sınav Hazırlık Süresi) | 1 | 2 | |
| Final (Sınav Süresi + Sınav Hazırlık Süresi) | 1 | 2 | |
| Toplam İşyükü : | |||
| Toplam İşyükü / 30(s) : | |||
| AKTS Kredisi : | |||
| Diğer Notlar | Yok |
|---|
